一、 仪器品牌型号

     

1.二次电子像分辨率：0.8nm ( 15 kV)，1.0 nm ( 1 kV )。

2.背散射电子像分辨率：1.5nm 。

3.加速电压：0.1kV ～ 30kV连续可调。

4.束流范围：热场发射电子枪，数pA～200nA(15kV)，分析效率极高。

5.放大倍率25X – 1,000,000X ；放大倍数粗、细模式连续可调，具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设功能。

6.物镜光阑：4级可调、X/Y方向精细可调。

7.扫描线圈：2级电磁系统，具有扫描图像旋转连续可调，并随工作距离能自动旋转补偿等功能。

8.自动调整功能：具有自动透镜控制、自动合轴、自动聚焦、消像散、反差、亮度调节功能，样品台导航控制等功能，并兼有手动调整功能。

9.样品台移动范围: 行程：X＝70mm, Y=50mm, Z=1- 40mm，倾斜T=-5°- +70°,旋转R=360°。

10.配高位二次电子探测器，低位二次电子探测器，LABE背散射电子探测器，同时标配能量过滤器，可以混合二次电子及背散射电子信号。

11.成像模式：同时得到二次电子像、背散射电子像，GB模式等。

12 .图像处理系统

自动离子溅射仪

1.溅射电流：10,20,30,40mA。

2.溅射靶：白金(Pt)。

3.样品台：直径64mm。

4.时间显示：1~300s。

能谱仪（EDS）

1.探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，40mm2有效面积，超薄窗设计, 无需液氮冷却，仅消耗电能。

2.能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV, 元素分析范围: Be4～Cf98。

3.谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV, 48小时内峰位漂移小于1.5eV。

4.谱定性分析:可自动标识谱峰,可进行谱重构，对重叠峰进行手动峰剥离。

5.定量分析: 可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用XPP定量修正技术, 可对倾斜样品进行修正, 并增强对轻元素的修正;具有完备的虚拟标样库。

6.全谱智能面分布和全谱智能线扫描分析功能。

三、 仪器主要用途

1.场发射扫描电子显微镜是先进的表面分析仪器。该仪器广泛用于生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在上述微米、纳米级样品的表面特征。 

2.能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)主要用途有高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析；金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定；可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析。如：金属化膜表面镀层的检测；金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域；进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。